用于半導(dǎo)體應(yīng)用的多孔金屬墊片過(guò)濾器

保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案：

（1）這種全金屬過(guò)濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊片接口無(wú)縫兼容。

（2） 墊圈式設(shè)計(jì)確保安裝簡(jiǎn)便，是 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門(mén)和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。

（3）多孔金屬墊片過(guò)濾器可承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入、保護(hù)敏感的氣體元件。

（4）通過(guò)防止與污染有關(guān)的泄漏，它可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命并降低維護(hù)成本。

（5）該過(guò)濾器有低壓和高壓兩種型號(hào)，可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中、為保護(hù)精密設(shè)備免受污染提供了經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。

規(guī)格

產(chǎn)品特點(diǎn)

低壓系列

適用于低壓系統(tǒng)管道

*最大工作壓力0.98Mpa
*流量范圍：0~100slpm

多孔不銹鋼VCR墊片過(guò)濾器的應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造：

●用于氣體分配系統(tǒng)，以過(guò)濾顆粒并保護(hù)質(zhì)量流量控制器 (MFC)、閥門(mén)和調(diào)節(jié)器等敏感元件。

●確?；瘜W(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻等工藝中的潔凈氣體供應(yīng)，防止顆粒污染導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。

2.制藥和生物技術(shù)行業(yè)：

●非常適合用于關(guān)鍵工藝的高純度氣體輸送系統(tǒng)，如藥品生產(chǎn)中的氣體滅菌或氣體混合。

●通過(guò)過(guò)濾可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的雜質(zhì)，確保生產(chǎn)中使用的氣體的完整性。

3.航空航天和高科技制造業(yè)：

●應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域先進(jìn)材料、涂層和組件制造所用的精密氣流控制系統(tǒng)。

●可承受極端的溫度和壓力，在苛刻的環(huán)境中提供持久的顆粒過(guò)濾。

4.化學(xué)處理：

●適用于存在高溫、高壓和腐蝕性環(huán)境的化工廠供氣管道。

●防止可能破壞化學(xué)反應(yīng)或?qū)е略O(shè)備故障的微粒污染。

5.實(shí)驗(yàn)室和研究設(shè)施

●用于氣相色譜儀、質(zhì)譜儀或其他敏感分析設(shè)備等科學(xué)儀器的高精度氣體輸送系統(tǒng)。

●保護(hù)精密儀器免受微粒污染，提高精度和使用壽命。

6.高純度氣體分配：

●對(duì)于需要超潔凈氣體的系統(tǒng)(如電子制造中使用的系統(tǒng))至關(guān)重要，因?yàn)槲廴疚飼?huì)破壞制造過(guò)程。

●316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)確保了耐用性和耐化學(xué)性，使其適用于惡劣的工作環(huán)境。

7.低溫氣體系統(tǒng)：

●適用于低溫氣體輸送系統(tǒng)，在醫(yī)療氣體供應(yīng)或液化氣處理等行業(yè)中，過(guò)濾掉可能影響低溫工藝性能的顆粒至關(guān)重要。

8.石油和天然氣行業(yè)：

●用于煉油廠或石化廠的氣體過(guò)濾系統(tǒng)，確保清除氣流中的污染物，保護(hù)設(shè)備免受堵塞或磨損。

產(chǎn)品的主要優(yōu)點(diǎn)：

*耐高溫和高壓，使過(guò)濾器能夠在極端條件下可靠運(yùn)行。

*316L 不銹鋼耐腐蝕，即使在化學(xué)腐蝕性環(huán)境中也能確保較長(zhǎng)的使用壽命。

*安裝方便，無(wú)需額外切割或焊接，易于改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

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