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半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器
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高壓氣體專用過(guò)濾器_半導(dǎo)體精密過(guò)濾器_壓縮空氣氨氣過(guò)濾器

  • HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器,用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔?,保護(hù)系統(tǒng)免受污染,從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換,維護(hù)簡(jiǎn)便。
  • 產(chǎn)品詳情

HF系列高壓氣體專用過(guò)濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔?、保護(hù)系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換、維護(hù)簡(jiǎn)便。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個(gè)高壓氣體過(guò)濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、過(guò)濾效率高、不易堵寒

5、安裝與檢修便捷高效

6、100%完整性測(cè)試通過(guò)

7、100%氨氣泄露檢測(cè)通過(guò)

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)    316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
表面處理   內(nèi)表面   Ra < 1.6μm過(guò)濾精度μm≥10~0.003 
外表面   電解Ras0.13μm 
最大工作壓差500bar最大工作壓差5bar
最高使用溫度600°C下游潔凈度≥0.03particles/liter
@>0.01um rated flow
氦氣驗(yàn)證泄漏率1x10-1'cc/min氦氣測(cè)試泄漏率1x10-9cc/min


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