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半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器
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卡套式T型氣體過(guò)濾器_不銹鋼高壓高精度過(guò)濾閥_三通過(guò)濾器

  • TF系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器、專(zhuān)為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
  • 產(chǎn)品詳情

TF系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器、專(zhuān)為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無(wú)憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝100%完整性測(cè)試

? 100%氨氣檢漏測(cè)試

T型過(guò)濾器

·聯(lián)合閥帽設(shè)計(jì),更安全

·工作溫度:-28~+482℃

.工作壓力可達(dá):414bar (6000psig)可選配底部旁通道,可用于取樣和清洗


技術(shù)參數(shù)


濾芯材質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
氦氣驗(yàn)證泄漏率2x10-10cc/min氦氣測(cè)試泄露率1x10-10cc/min
表面處理外表面Ra < 1.6μm最高使用溫度惰性氣體400-500°C
內(nèi)表面Ra < 0.2μm腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體50°C
顆粒攔截效率99.9999999%(9LRV)@30slpm下游潔凈度0.03particles/liter
@>0.01um,30slpm
顆粒攔截粒徑≧0.003μm


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